食品廠無塵室是污染控制的基礎(chǔ)文章概要:無塵室(CleanRoom),亦稱為無塵室或清凈室。它是污染控制的基礎(chǔ)。沒有無塵室,污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在FED-STD-2里面,無塵室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間,其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達到適當?shù)奈⒘崈舳?*。無塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒
無塵室(CleanRoom),亦稱為無塵室或清凈室。它是污染控制的基礎(chǔ)。沒有無塵室,污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在FED-STD-2里面,無塵室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間,其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達到適當?shù)奈⒘崈舳?*。
無塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、**等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設計之房間。
無塵凈化**主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非**沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對于光學構(gòu)造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負面影響,所以在光學構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是*然的要求。
無塵室每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下,就達到了**無塵標準的**。目前應用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對于灰塵的要求高于**,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K**。
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